LCD 장비

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TCU (항온항습 Chamber)

  • FEATURES
  • Ø 용도 : Photo 노광 공정 전 GLS 상부에 도포된 PR의 온도를 일정하게 유지 시켜 노광 공정의 Tact Time을 단축 시키고 PR의 변형을 방지하여 불량을 사전에 방지하는 항온 항습 Chamber System

    Ø 핵심 기술
    § System 구성 : Temperature Control Unit / Duct Line / Filter Box / CMS
    § 대응 Glass Size : ~Gen.8
    § Glass 표면온도 Uniformity : ≤ ±0.1℃
    § 온도 안정성 : ≤ ±0.05℃ (Control Point 기준)
    § 청정도 : Class 10

     

  • APPLICATION

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  • PRODUCT SPECIFCATION
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    LCD 제조를 위한 핵심 공정인 노광 공정시의 불량을 감소하기 위한 설비로 Glass 전체의 표면 온도를 ±0.01℃까지 균일하게 제어하기 위한 항온항습 Chamber