LCD 장비

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TRU (Thermal Recycling Unit) - Developping

  • FEATURES
  • Ø 용도 : LCD 및 반도체 공정에 사용되는 Curing Oven (열풍방식 Oven)에서 폐기 처리되는 고온의 폐 배기가스를 사용하여 Oven 내로 투입 되는 Clean Air1차로 가열시켜 전력 소모량을 저감 시키기 위한 설비임.

    Ø 핵심 기술
    § 열 전달 기술, 온도 제어 기술, 열 및 유체 역학 기술
    § 폐 배기 가스가 Clean Air와 섞이지 않도록 하기 위한 Sealing 기술
    § 별도의 구동부 및 동력이 불필요

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  • APPLICATION
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  • PRODUCT SPECIFCATION
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